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适用于非制冷焦平面探测器的氧化钒薄膜制备研究

Preparation of VOx Films for Uncooled Infrared Detectors

    摘要
  • 摘要: 氧化钒薄膜由于其具有高电阻温度系数(TCR),近年来被广泛应用于非制冷红外探测器.利用离子束增强沉积法,通过精确控制溅射电压、退火温度优化了氧化钒的制备工艺,制备出的氧化钒薄膜电阻为40kΩ、TCR为-2.5%K-1,满足非制冷焦平面探测器氧化钒薄膜的应用的要求.

     

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