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测辐射热计微桥结构的形变分析

Deformation Analysis of Bolometer Micro-bridges

    摘要
  • 摘要: 采用微加工技术制作测辐射热计阵列时,部分微桥可能发生结构变形,使阵列的性能下降甚至无法正常工作.采用有限元分析方法,对在热膨胀和薄膜应力影响下的I型和L型两种微桥的变形进行了仿真分析,揭示了热膨胀和薄膜应力分别对微桥形变的影响.

     

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